设备介绍

扫描电子显微镜+电子束曝光


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蔡司sigma300扫描电镜用来观察微米及亚微米级别的导电材料的材料表面结构,用途广泛。凝聚态方向主要用来检查制作的微型电路,波导等材料的结果鉴定。

扫描电镜搭载Raith电子束曝光软件,可实现维型电路的设计和曝光,最大写场1000um,最高精度100nm。

性能指标:分辨率:20nm---10kV,加速电压:100V-30kV, 放大倍数:50-500K,探测器:二次电子探测器SE2,Inlens探测器和红外CCD相机。 

主要应用:适用于导电材料和非导电材料表面形貌的观察,获得表面形貌的二次电子像。 

样品要求:固体非粉末干燥样品,样品表面干净,无油污,无磁性,且不易被磁化,样品中不得含有铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)。高度小于20mm,直径小于50mm。 多孔类或易潮解的样品,请提前真空干燥处理。 样品应具有导电性。若样品不导电,需要进行镀金、碳等导电膜的处理。 


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