热蒸发镀膜仪
仪器预约
仪器介绍： 主要用来蒸镀金属层，能精确控制蒸镀速率和厚度。
电阻热蒸发加热，加装氩刻装置，可在蒸镀前对样品表面进行等离子体刻蚀，增加蒸镀薄膜与样品的贴合性。
热蒸发两个坩埚，最大可放置4英寸圆形样品。
地址：上海市东川路800号理科实验楼群邮编：200240
沪交ICP备05010 © 上海交通大学物理与天文学院 版权所有
微信公众号
微视频
